{"id":19204,"date":"2024-09-10T16:45:57","date_gmt":"2024-09-10T09:45:57","guid":{"rendered":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/?p=19204"},"modified":"2024-09-13T16:48:27","modified_gmt":"2024-09-13T09:48:27","slug":"tmec-mems-foundry","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/tmec-mems-foundry\/","title":{"rendered":"\u0e42\u0e0a\u0e27\u0e4c\u0e1c\u0e25\u0e07\u0e32\u0e19 \u0e42\u0e23\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c MEMS \u0e43\u0e19\u0e07\u0e32\u0e19 NECTEC-ACE 2024"},"content":{"rendered":"<p>Thai Microelectronics Center (TMEC) \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 MEMS Foundry \u0e41\u0e2b\u0e48\u0e07\u0e41\u0e23\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e17\u0e22 \u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c MEMS \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e0b\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e43\u0e19\u0e01\u0e25\u0e38\u0e48\u0e21 More Than Moore \u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e15\u0e48\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a \u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e14\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e44\u0e1b\u0e08\u0e19 \u0e16\u0e36\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e1e\u0e32\u0e13\u0e34\u0e0a\u0e22\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e16\u0e36\u0e07\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07 \u0e15\u0e31\u0e27\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c \u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e21\u0e32 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48 MEMS Pressure Sensors, Silicon Particle Detector, Si MEMS Microphones, Si MEMS Gyroscopes \u0e41\u0e25\u0e30 Ion-Sensitive Field-Effect Transistor (ISFET) \u0e2d\u0e35\u0e01\u0e1a\u0e17\u0e1a\u0e32\u0e17\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e02\u0e2d\u0e07 TMEC \u0e04\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e04\u0e19\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e23\u0e2d\u0e07 \u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e19\u0e35\u0e49\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15<\/p>\n<p><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" class=\"alignnone size-full\" src=\"https:\/\/www.nectec.or.th\/ace2024\/wp-content\/uploads\/2024\/09\/11-MEMS.jpg\" width=\"1138\" height=\"2560\" \/><\/p>\n<p>\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e32 : https:\/\/www.nectec.or.th\/ace2024\/exh11-mems\/<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Thai Microelectronics Center (TMEC) \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 MEMS Foundry \u0e41\u0e2b\u0e48\u0e07\u0e41\u0e23\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e17\u0e22 \u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c MEMS \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e0b\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e43\u0e19\u0e01\u0e25\u0e38\u0e48\u0e21 More Than Moore \u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e15\u0e48\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a \u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e14\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e44\u0e1b\u0e08\u0e19 \u0e16\u0e36\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e1e\u0e32\u0e13\u0e34\u0e0a\u0e22\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e16\u0e36\u0e07\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07 \u0e15\u0e31\u0e27\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c \u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e21\u0e32 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48 MEMS Pressure Sensors, Silicon Particle Detector, Si MEMS Microphones, Si MEMS Gyroscopes \u0e41\u0e25\u0e30 Ion-Sensitive Field-Effect Transistor (ISFET) \u0e2d\u0e35\u0e01\u0e1a\u0e17\u0e1a\u0e32\u0e17\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e02\u0e2d\u0e07 TMEC \u0e04\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e04\u0e19\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e23\u0e2d\u0e07 \u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e19\u0e35\u0e49\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e32 : https:\/\/www.nectec.or.th\/ace2024\/exh11-mems\/<\/p>\n","protected":false},"author":5,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[4640],"tags":[],"class_list":["post-19204","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-tmec"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/19204","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/users\/5"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=19204"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/19204\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":19206,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/19204\/revisions\/19206"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=19204"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=19204"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=19204"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}