{"id":19080,"date":"2015-05-07T14:01:22","date_gmt":"2015-05-07T07:01:22","guid":{"rendered":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/?p=19080"},"modified":"2024-08-19T14:03:30","modified_gmt":"2024-08-19T07:03:30","slug":"humidity-sensor-wafer-level","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/humidity-sensor-wafer-level\/","title":{"rendered":"Humidity Sensor : Wafer level"},"content":{"rendered":"<p style=\"font-weight: 400;\">TMEC\u00a0\u0e02\u0e2d\u0e19\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u00a0(Humidity Sensor)\u00a0\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u00a0CMOS\u00a0\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e48\u0e07\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e44\u0e17\u0e22\u00a0\u0e42\u0e14\u0e22\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u00a0CMOS\u00a0\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u00a0\u00a0\u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u00a0TMEC\u00a0\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1e\u0e31\u0e17\u0e18\u0e4c\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46\u0e44\u0e14\u0e49\u0e15\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e46\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e42\u0e14\u0e22\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e08\u0e30\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e15\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19\u0e19\u0e31\u0e48\u0e19\u0e40\u0e2d\u0e07<\/p>\n<p style=\"font-weight: 400;\">TMEC\u00a0\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e08\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e32\u0e22\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u00a0(Humidity Sensor)\u00a0\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c (Wafer) \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0a\u0e34\u0e1e\u00a0(Chip)\u00a0\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25 (Module)\u00a0\u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e33\u0e41\u0e19\u0e30\u0e19\u0e33\u0e41\u0e01\u0e48\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e17\u0e38\u0e01\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19 \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e17\u0e49\u0e08\u0e23\u0e34\u0e07<\/p>\n<p style=\"font-weight: 400;\"><strong>Humidity Sensor : Wafer level<br \/>\n<\/strong><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" class=\"alignnone size-medium\" src=\"https:\/\/tmec.nectec.or.th\/public\/uploaded\/products\/Humidity%20Sensor\/HumidityWafer.JPG\" width=\"434\" height=\"388\" \/><!--more--><\/p>\n<p style=\"font-weight: 400;\">\n<strong><br \/>\n<\/strong>TMEC\u00a0\u00a0\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u00a0Humidity Sensor : Wafer level\u00a0\u0e44\u0e14\u0e49\u00a02\u00a0\u0e41\u0e1a\u0e1a \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49<\/p>\n<p><strong>1.\u00a0\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u00a0capacitive\u00a0<\/strong><strong>\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27<\/strong><br \/>\nmicro-interdigitate aluminum electrode\u00a0\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e01\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07 \u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u00a0exponential\u0e08\u0e36\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e15\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32 \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e14\u0e39\u0e14\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e08\u0e36\u0e07\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e44\u0e27\u0e2a\u0e39\u0e07\u00a0(high response)\u00a0\u0e41\u0e25\u0e30\u00a0recovery time\u00a0\u0e2a\u0e31\u0e49\u0e19<\/p>\n<p><strong>2.<\/strong>\u00a0<strong>\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a integrated with \u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34 \u0e41\u0e25\u0e30 \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e2e\u0e35\u0e15\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/strong><br \/>\n\u0e23\u0e27\u0e21\u0e40\u0e2d\u0e32\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e02\u0e49\u0e32\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e01\u0e48\u0e15\u0e31\u0e27\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e08\u0e36\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1b\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u00a0dew point<\/p>\n<p><strong>Features<br \/>\n<\/strong><br \/>\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u00a06\u00a0\u0e19\u0e34\u0e49\u0e27<br \/>\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0die size ~ 1.8 * 2.0 mm2 (~3300 dies maximum)<br \/>\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0die\u00a0\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e08\u0e30\u0e16\u0e39\u0e01\u0e17\u0e33\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e22\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e15\u0e49\u0e21\u0e2b\u0e21\u0e36\u0e01<br \/>\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0minimum yield\u00a0\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e21\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e32\u0e01\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u00a090%<br \/>\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0\u0e40\u0e01\u0e23\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e0a\u0e34\u0e1a\u00a0(range\u00a0\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e48\u0e32\u00a0C\u00a0\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19)\u00a0\u0e08\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e48\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e40\u0e01\u0e23\u0e14\u00a0A B C\u00a0\u0e41\u0e25\u0e30\u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u00a0coordinate map\u00a0\u0e01\u0e33\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e39\u0e48\u0e44\u0e1b\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e15\u0e48\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u00a0(\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e08\u0e30\u0e16\u0e39\u0e01\u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e1a\u0e19\u00a0map\u00a0\u0e19\u0e35\u0e49\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22)<br \/>\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e15\u0e47\u0e21 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u00a0saw\u00a0\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27 (\u0e22\u0e36\u0e14\u0e1a\u0e19\u0e1a\u0e25\u0e39\u0e40\u0e17\u0e1b\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07)<\/p>\n<p><strong>Specification<\/strong><\/p>\n<p>\u00b7\u00a0\u00a0capacitive sensor: 10 \u2013 100%RH (conversion to capacitance is on the datasheet)<br \/>\n\u00b7\u00a0\u00a0temperature sensor:\u00a0\u00a0-20 to 80\u00b0C<br \/>\n\u00b7\u00a0\u00a0Heater : will update soon<\/p>\n<p style=\"font-weight: 400;\">\n<strong>Data sheet<\/strong>\u00a0: \u00a0<a href=\"https:\/\/tmec.nectec.or.th\/public\/uploaded\/products\/Humidity%20Sensor\/Spec_001A.pdf\"><strong>Spec_001A.pdf<\/strong><\/a><strong>\u00a0,<\/p>\n<p><\/strong><a href=\"https:\/\/tmec.nectec.or.th\/public\/uploaded\/products\/Humidity%20Sensor\/graph1.pdf\"><strong>Graph1.pdf<\/strong><\/a><\/p>\n<p><strong>Application<\/strong>\u00a0: \u00a0<a href=\"https:\/\/tmec.nectec.or.th\/public\/uploaded\/products\/Humidity%20Sensor\/package_circuits.pdf\"><strong>Package_Circuits.pdf<\/strong><\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>TMEC\u00a0\u0e02\u0e2d\u0e19\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u00a0(Humidity Sensor)\u00a0\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u00a0CMOS\u00a0\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e48\u0e07\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e44\u0e17\u0e22\u00a0\u0e42\u0e14\u0e22\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u00a0CMOS\u00a0\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u00a0\u00a0\u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u00a0TMEC\u00a0\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1e\u0e31\u0e17\u0e18\u0e4c\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46\u0e44\u0e14\u0e49\u0e15\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e46\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e42\u0e14\u0e22\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e08\u0e30\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e15\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19\u0e19\u0e31\u0e48\u0e19\u0e40\u0e2d\u0e07 TMEC\u00a0\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e08\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e32\u0e22\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u00a0(Humidity Sensor)\u00a0\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c (Wafer) \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0a\u0e34\u0e1e\u00a0(Chip)\u00a0\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25 (Module)\u00a0\u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e33\u0e41\u0e19\u0e30\u0e19\u0e33\u0e41\u0e01\u0e48\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e17\u0e38\u0e01\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19 \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e17\u0e49\u0e08\u0e23\u0e34\u0e07 Humidity Sensor : Wafer level<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[4640],"tags":[5018,5051,5053,5054,5052],"class_list":["post-19080","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-tmec","tag-humidity-sensor","tag-recovery-time","tag-wafer-level","tag-5054","tag-5052"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/19080","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=19080"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/19080\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":19082,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/19080\/revisions\/19082"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=19080"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=19080"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=19080"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}