{"id":18970,"date":"2015-05-07T12:55:12","date_gmt":"2015-05-07T05:55:12","guid":{"rendered":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/?p=18970"},"modified":"2024-08-16T12:59:23","modified_gmt":"2024-08-16T05:59:23","slug":"humidity-sensor","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/humidity-sensor\/","title":{"rendered":"\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 (Humidity Sensor) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35 CMOS \u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e48\u0e07\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e44\u0e17\u0e22"},"content":{"rendered":"

\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 (HUMIDITY SENSOR)<\/h3>\n

TMEC \u0e19\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 (Humidity Sensor) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35 CMOS \u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e48\u0e07\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e44\u0e17\u0e22 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35 CMOS \u0e19\u0e35\u0e49 \u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u00a0\u00a0\u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07 TMEC \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1e\u0e31\u0e17\u0e18\u0e4c\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46\u0e44\u0e14\u0e49\u0e15\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e46\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e42\u0e14\u0e22\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e08\u0e30\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e15\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19\u0e19\u0e31\u0e48\u0e19\u0e40\u0e2d\u0e07<\/p>\n

TMEC\u00a0\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e08\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e32\u0e22\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u00a0(Humidity Sensor)\u00a0\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c (Wafer) \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0a\u0e34\u0e1e\u00a0(Chip)\u00a0\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25 (Module)\u00a0\u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e33\u0e41\u0e19\u0e30\u0e19\u0e33\u0e41\u0e01\u0e48\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e17\u0e38\u0e01\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19 \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e17\u0e49\u0e08\u0e23\u0e34\u0e07<\/p>\n

Humidity Sensor : Wafer level
\n<\/strong><\/p>\n

\"\"<\/p>\n

\nTMEC\u00a0\u00a0\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u00a0Humidity Sensor : Wafer level\u00a0\u0e44\u0e14\u0e49\u00a02\u00a0\u0e41\u0e1a\u0e1a \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49
\n
\n1.\u00a0\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u00a0capacitive\u00a0<\/strong>\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27<\/strong>
\nmicro-interdigitate aluminum electrode\u00a0\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e01\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07 \u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u00a0exponential\u0e08\u0e36\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e15\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32 \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e14\u0e39\u0e14\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e08\u0e36\u0e07\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e44\u0e27\u0e2a\u0e39\u0e07\u00a0(high response)\u00a0\u0e41\u0e25\u0e30\u00a0recovery time\u00a0\u0e2a\u0e31\u0e49\u0e19
\n
\n2.<\/strong>\u00a0\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u00a0integrated with\u00a0<\/strong>\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34 \u0e41\u0e25\u0e30 \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e2e\u0e35\u0e15\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/strong>
\n\u0e23\u0e27\u0e21\u0e40\u0e2d\u0e32\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e02\u0e49\u0e32\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e01\u0e48\u0e15\u0e31\u0e27\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e08\u0e36\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1b\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u00a0dew point<\/p>\n

Features
\n<\/strong>
\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u00a06\u00a0\u0e19\u0e34\u0e49\u0e27
\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0die size ~ 1.8 * 2.0 mm2 (~3300 dies maximum)
\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0die\u00a0\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e08\u0e30\u0e16\u0e39\u0e01\u0e17\u0e33\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e22\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e15\u0e49\u0e21\u0e2b\u0e21\u0e36\u0e01
\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0minimum yield\u00a0\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e21\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e32\u0e01\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u00a090%
\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0e40\u0e01\u0e23\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e0a\u0e34\u0e1a\u00a0(range\u00a0\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e48\u0e32\u00a0C\u00a0\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19)\u00a0\u0e08\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e48\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e40\u0e01\u0e23\u0e14\u00a0A B C\u00a0\u0e41\u0e25\u0e30\u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u00a0coordinate map\u00a0\u0e01\u0e33\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e39\u0e48\u0e44\u0e1b\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e15\u0e48\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u00a0(\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e08\u0e30\u0e16\u0e39\u0e01\u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e1a\u0e19\u00a0map\u00a0\u0e19\u0e35\u0e49\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22)
\n\u00b7\u00a0\u00a0\u00a0\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e15\u0e47\u0e21 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u00a0saw\u00a0\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27 (\u0e22\u0e36\u0e14\u0e1a\u0e19\u0e1a\u0e25\u0e39\u0e40\u0e17\u0e1b\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07)<\/p>\n

Specification<\/strong><\/p>\n

\u00b7\u00a0\u00a0capacitive sensor: 10 \u2013 100%RH (conversion to capacitance is on the datasheet)
\n\u00b7\u00a0\u00a0temperature sensor:\u00a0\u00a0-20 to 80\u00b0C<\/p>\n

\nData sheet<\/strong>\u00a0: \u00a0Spec_001A.pdf<\/a> ,\u00a0 \u00a0Graph1.pdf<\/a><\/strong>
\nApplication<\/strong>\u00a0:\u00a0Package_Circuits.pdf<\/a><\/strong><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 (HUMIDITY SENSOR) TMEC \u0e19\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 (Humidity Sensor) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35 CMOS \u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e48\u0e07\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e44\u0e17\u0e22 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35 CMOS \u0e19\u0e35\u0e49 \u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u00a0\u00a0\u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07 TMEC \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1e\u0e31\u0e17\u0e18\u0e4c\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46\u0e44\u0e14\u0e49\u0e15\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e46\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e42\u0e14\u0e22\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e08\u0e30\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e15\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19\u0e19\u0e31\u0e48\u0e19\u0e40\u0e2d\u0e07 TMEC\u00a0\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e08\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e32\u0e22\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u00a0(Humidity Sensor)\u00a0\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c (Wafer) \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0a\u0e34\u0e1e\u00a0(Chip)\u00a0\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25 (Module)\u00a0\u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e33\u0e41\u0e19\u0e30\u0e19\u0e33\u0e41\u0e01\u0e48\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e17\u0e38\u0e01\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19 \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e17\u0e49\u0e08\u0e23\u0e34\u0e07 Humidity Sensor : Wafer level TMEC\u00a0\u00a0\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u00a0Humidity Sensor : Wafer level\u00a0\u0e44\u0e14\u0e49\u00a02\u00a0\u0e41\u0e1a\u0e1a \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49 1.\u00a0\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u00a0capacitive\u00a0\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27 micro-interdigitate aluminum electrode\u00a0\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e01\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07 \u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u00a0exponential\u0e08\u0e36\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e15\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32 \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e14\u0e39\u0e14\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e08\u0e36\u0e07\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e44\u0e27\u0e2a\u0e39\u0e07\u00a0(high response)\u00a0\u0e41\u0e25\u0e30\u00a0recovery time\u00a0\u0e2a\u0e31\u0e49\u0e19 2.\u00a0\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u00a0integrated with\u00a0\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34 \u0e41\u0e25\u0e30 \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e2e\u0e35\u0e15\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e23\u0e27\u0e21\u0e40\u0e2d\u0e32\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e02\u0e49\u0e32\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e01\u0e48\u0e15\u0e31\u0e27\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e08\u0e36\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1b\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u00a0dew point … Read 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