{"id":18680,"date":"2013-01-11T15:11:55","date_gmt":"2013-01-11T08:11:55","guid":{"rendered":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/?p=18680"},"modified":"2024-07-24T15:16:29","modified_gmt":"2024-07-24T08:16:29","slug":"isfet-ion-sensitive-field-effect-transistor","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/isfet-ion-sensitive-field-effect-transistor\/","title":{"rendered":"ISFET (ION-SENSITIVE FIELD EFFECT TRANSISTOR)"},"content":{"rendered":"<p>ISFET-New\u00a0\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u00a0ISFET\u00a0(Ion-Sensitive\u00a0Field Effect\u00a0Transistor) \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 CMOS \u0e42\u0e14\u0e22\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u00a0ISFET\u00a0\u0e17\u0e35\u0e48\u0e17\u0e32\u0e07\u00a0TMEC\u00a0\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e21\u0e35 Sensing Membrane \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 Silicon Nitride (Si3N4) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e40\u0e08\u0e32\u0e30\u0e08\u0e07\u0e01\u0e31\u0e1a \u0e44\u0e2e\u0e42\u0e14\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19 (H+) \u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e48\u0e32\/\u0e2d\u0e48\u0e32\u0e19\u0e04\u0e48\u0e32 \u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e27\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2d\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e07 Ag\/AgCl (Ag\/AgCl reference electrode) \u0e08\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e27\u0e31\u0e14\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e44\u0e2e\u0e42\u0e14\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e04\u0e48\u0e32\u0e1e\u0e35\u0e40\u0e2d\u0e0a\u0e44\u0e14\u0e49<\/p>\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u00a0ISFET\u00a0\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e32\u0e04\u0e48\u0e32 pH \u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e23\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e32\u0e30\u0e41\u0e01\u0e49\u0e27 \u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01 \u0e1a\u0e17\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e19\u0e48\u0e32\u0e2a\u0e19\u0e43\u0e08\u0e40\u0e01\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e01\u0e31\u0e1a\u00a0ISFET\u00a0\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2d\u0e48\u0e32\u0e19\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e40\u0e15\u0e34\u0e21\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e35\u0e48\u00a0ISFET<\/p>\n<p>TMEC\u00a0\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e08\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e32\u0e22\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u00a0ISFET\u00a0\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0a\u0e34\u0e1e\u0e42\u0e14\u0e22\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e44\u0e14\u0e49\u0e15\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07 \u0e25\u0e39\u0e01\u0e04\u0e49\u0e32 \u0e1a\u0e19\u0e0a\u0e34\u0e1e\u00a0ISFET\u00a0\u0e0a\u0e34\u0e1e\u0e21\u0e35\u0e15\u0e31\u0e27\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e1e\u0e35\u0e40\u0e2d\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e0a\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e22\u0e1c\u0e25\u0e01\u0e23\u0e30\u0e17\u0e1a\u0e08\u0e32\u0e01\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 \u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22<big><\/big><\/p>\n<table border=\"0\" width=\"627\">\n<tbody>\n<tr>\n<td><span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/tmec.nectec.or.th\/public\/uploaded\/products\/isfet\/ISFET2016\/ISFET0.jpg\" alt=\"\" width=\"300\" height=\"360\" \/><\/span><\/td>\n<td valign=\"top\">\n<div><span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\"><span style=\"color: #0000ff;\"><strong><br \/>\nPhysical Specification<br \/>\n<\/strong><\/span>Device per wafer\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a01,812<\/span><br \/>\n<span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\">Chip dimensions\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 3,880<small><small><small>\u00a0<\/small><\/small>x\u00a0<\/small>1,350<small>\u00a0x\u00a0<\/small>625 um<sup>3<\/sup><\/span><br \/>\n<span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\">Sensing membrane\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0Si<sub>3<\/sub>N<sub>4<\/sub><\/span><span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\"><strong><span style=\"color: #0000ff;\">Electrical Specification<br \/>\n<\/span><\/strong>Vds\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 \u00a0\u00a0\u00a0 300 &#8211; 1,000 mV<\/span><br \/>\n<span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\">Ids\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 \u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 45 &#8211; 55 mV\/pH<\/span><\/p>\n<\/div>\n<div><span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\">Vth\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 1 &#8211; 14<\/span><\/div>\n<div><span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\"><strong><span style=\"color: #0000ff;\">Chemical\u00a0Specification<br \/>\n<\/span><\/strong>Sensitivity\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 20 &#8211; 80 uA<\/span><\/div>\n<div><span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\">Linear range\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 1.0 &#8211; 2.0 V<\/span><\/div>\n<div><span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\">Response time to pH change\u00a0\u00a0 &lt; 10 sec. (90%)<\/span><br \/>\n<span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\">Operating Temp\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 5<sup>o<\/sup>C &#8211; 100<sup>o<\/sup>C<\/span><\/div>\n<div>\n<p><span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\">Stability\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 0.1 pH\/day (or 1%)<\/span><\/p>\n<p><span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\"><a href=\"https:\/\/tmec.nectec.or.th\/public\/uploaded\/products\/isfet\/ISFET2016\/ISFET%20pH%20Sensor.pdf\"><span style=\"color: #ff0000;\"><strong>ISFET Data Sheet<\/strong><\/span><\/a><span style=\"color: #ff0000;\"><br \/>\n<\/span><\/span><\/p>\n<\/div>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p>\u0e19\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e46 \u0e17\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e21\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e32\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 \u0e41\u0e1a\u0e1a Array \u0e14\u0e31\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b<\/p>\n<div><span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\"><big><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/tmec.nectec.or.th\/public\/uploaded\/products\/isfet\/ISFET2016\/ISFET1.jpg\" alt=\"\" width=\"473\" height=\"354\" \/><br \/>\n<\/big><\/span><\/p>\n<div>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><strong>Applications<\/strong><\/p>\n<p>ISFET\u00a0\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19\u0e46 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23 Calibrate \u0e15\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e41\u0e25\u0e30\u0e16\u0e39\u0e01\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07 \u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e16\u0e39\u0e01\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e30\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u00a0ISFET\u00a0\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e44\u0e21\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23 Calibrate \u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e04\u0e19\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e43\u0e19\u0e41\u0e07\u0e48\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e14\u0e27\u0e01\u0e2a\u0e1a\u0e32\u0e22 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e14\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e33\u0e23\u0e38\u0e07\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32 \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e21\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e08\u0e36\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e33\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a Fluid Injection Analysis \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d FIA System (\u0e14\u0e31\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e02\u0e49\u0e32\u0e07\u0e25\u0e48\u0e32\u0e07) \u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u00a0ISFET\u00a0\u0e17\u0e33\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e07\u0e32\u0e19\u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e14\u0e39\u0e41\u0e25\u0e08\u0e32\u0e01\u0e21\u0e19\u0e38\u0e29\u0e22\u0e4c\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<div><span style=\"font-family: tahoma, arial, helvetica, sans-serif; font-size: 10pt;\"><big><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/tmec.nectec.or.th\/public\/uploaded\/products\/isfet\/ISFET2016\/ISFET2.jpg\" alt=\"\" width=\"600\" height=\"337\" \/><br \/>\n<\/big><\/span><\/div>\n<p>\u0e19\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32 pH \u0e41\u0e25\u0e49\u0e27\u00a0ISFET\u00a0\u0e22\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e19\u0e33\u0e21\u0e32\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19 \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 \u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d \u0e0a\u0e35\u0e27\u0e20\u0e32\u0e1e \u0e44\u0e14\u0e49\u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e36\u0e07 Sensing Layer \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d Sensing Membrane \u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e1a\u0e19 Si3N4\u00a0membrane \u0e02\u0e2d\u0e07\u00a0ISFET<\/p>\n<p>&#8211; \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e27\u0e31\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07 \u0e46 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e36\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e2d\u0e25\u0e34\u0e40\u0e21\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07 \u0e46 \u0e25\u0e07\u0e1a\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u00a0ISFET\u00a0\u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e44\u0e19\u0e40\u0e15\u0e23\u0e17\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e1f\u0e2d\u0e2a\u0e40\u0e1f\u0e2a\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e42\u0e1e\u0e41\u0e17\u0e2a\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c (N-P-K Sensors) \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e49\u0e19 \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2d\u0e48\u0e32\u0e19\u0e1a\u0e17\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e32\u0e07\u0e27\u0e34\u0e0a\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e35\u0e48\u00a0Agriculture Sensor<\/p>\n<p>&#8211; \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e27\u0e31\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e0a\u0e35\u0e27\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07 \u0e46 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e36\u0e07\u0e41\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e2d\u0e14\u0e35\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07 \u0e46 \u0e25\u0e07\u0e1a\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u00a0ISFET\u00a0\u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e27\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e38\u0e4a\u0e1b\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e14 \u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e27\u0e31\u0e14\u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e31\u0e25\u0e1a\u0e39\u0e21\u0e34\u0e19 \u0e15\u0e31\u0e27\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e35\u0e42\u0e04\u0e44\u0e25 \u0e01\u0e25\u0e39\u0e42\u0e04\u0e2a \u0e2f\u0e25\u0e2f \u0e42\u0e14\u0e22\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e42\u0e23\u0e04\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46 \u0e08\u0e30\u0e21\u0e35 Antigen \u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e15\u0e31\u0e27 \u0e23\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e19\u0e40\u0e23\u0e32\u0e08\u0e30\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 Antibody \u0e08\u0e33\u0e40\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e42\u0e23\u0e04\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e21\u0e32\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d \u0e08\u0e31\u0e1a Anitgen \u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e40\u0e2b\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e19 \u0e01\u0e38\u0e0d\u0e41\u0e08\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e25\u0e39\u0e01\u0e01\u0e38\u0e0d\u0e41\u0e08 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e40\u0e08\u0e32\u0e30\u0e08\u0e07 \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49 \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u00a0ISFET\u00a0\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e42\u0e23\u0e04\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46 \u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e01\u0e47\u0e04\u0e37\u0e2d \u0e40\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e15\u0e23\u0e36\u0e07 Antibody \u0e15\u0e48\u0e2d Antigen \u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e40\u0e23\u0e32\u0e01\u0e47\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e42\u0e23\u0e04\u0e43\u0e14\u0e46 \u0e44\u0e14\u0e49 \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2d\u0e48\u0e32\u0e19\u0e07\u0e32\u0e19\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e17\u0e32\u0e07\u00a0TMEC\u00a0\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e48\u0e27\u0e21\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e21\u0e2b\u0e32\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e32\u0e25\u0e31\u0e22 \u0e08\u0e32\u0e01\u00a0Surface modification of silicon dioxide, silicon nitride and titanium paper\u00a0\u0e41\u0e25\u0e30\u00a0Lactate Sensor paper\u00a0\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e49\u0e19<\/p>\n<p>\u0e1b\u0e31\u0e08\u0e08\u0e38\u0e1a\u0e31\u0e19\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e25\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e23\u0e48\u0e07\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32 Sensing membrane \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07 \u0e46 \u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e39\u0e48\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e36\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e25\u0e07\u0e1a\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u00a0ISFET\u00a0\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e27\u0e31\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e35\u0e27\u0e30\u0e20\u0e32\u0e1e \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e21\u0e35\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e29\u0e31\u0e17\u0e17\u0e32\u0e07\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e08\u0e32\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e46\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e15\u0e34\u0e14\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u00a0TMEC\u00a0\u0e41\u0e25\u0e30\u00a0Winsense\u00a0\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e33\u00a0ISFET\u00a0\u0e44\u0e1b\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e2d\u0e14 \u0e44\u0e21\u0e48\u0e27\u0e48\u0e32\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e07\u0e32\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e29\u0e15\u0e23 \u0e2a\u0e31\u0e19\u0e17\u0e19\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1e\u0e17\u0e22\u0e4c (Health care)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>ISFET-New\u00a0\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u00a0ISFET\u00a0(Ion-Sensitive\u00a0Field Effect\u00a0Transistor) \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 CMOS \u0e42\u0e14\u0e22\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u00a0ISFET\u00a0\u0e17\u0e35\u0e48\u0e17\u0e32\u0e07\u00a0TMEC\u00a0\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e21\u0e35 Sensing Membrane \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 Silicon Nitride (Si3N4) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e40\u0e08\u0e32\u0e30\u0e08\u0e07\u0e01\u0e31\u0e1a \u0e44\u0e2e\u0e42\u0e14\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19 (H+) \u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e48\u0e32\/\u0e2d\u0e48\u0e32\u0e19\u0e04\u0e48\u0e32 \u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e27\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2d\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e07 Ag\/AgCl (Ag\/AgCl reference electrode) \u0e08\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e27\u0e31\u0e14\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e44\u0e2e\u0e42\u0e14\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e04\u0e48\u0e32\u0e1e\u0e35\u0e40\u0e2d\u0e0a\u0e44\u0e14\u0e49 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u00a0ISFET\u00a0\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e32\u0e04\u0e48\u0e32 pH \u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e23\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e32\u0e30\u0e41\u0e01\u0e49\u0e27 \u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01 \u0e1a\u0e17\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e19\u0e48\u0e32\u0e2a\u0e19\u0e43\u0e08\u0e40\u0e01\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e01\u0e31\u0e1a\u00a0ISFET\u00a0\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2d\u0e48\u0e32\u0e19\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e40\u0e15\u0e34\u0e21\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e35\u0e48\u00a0ISFET TMEC\u00a0\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e08\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e32\u0e22\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u00a0ISFET\u00a0\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0a\u0e34\u0e1e\u0e42\u0e14\u0e22\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e44\u0e14\u0e49\u0e15\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07 \u0e25\u0e39\u0e01\u0e04\u0e49\u0e32 \u0e1a\u0e19\u0e0a\u0e34\u0e1e\u00a0ISFET\u00a0\u0e0a\u0e34\u0e1e\u0e21\u0e35\u0e15\u0e31\u0e27\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e1e\u0e35\u0e40\u0e2d\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e0a\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e22\u0e1c\u0e25\u0e01\u0e23\u0e30\u0e17\u0e1a\u0e08\u0e32\u0e01\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 \u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22 Physical Specification Device per wafer\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a01,812 Chip dimensions\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 3,880\u00a0x\u00a01,350\u00a0x\u00a0625 um3 Sensing membrane\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0Si3N4Electrical Specification Vds\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 \u00a0\u00a0\u00a0 300 &#8211; 1,000 mV Ids\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 \u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 45 &#8211; 55 &#8230; <a title=\"ISFET (ION-SENSITIVE FIELD EFFECT TRANSISTOR)\" class=\"read-more\" href=\"https:\/\/www.nstda.or.th\/archives\/isfet-ion-sensitive-field-effect-transistor\/\" aria-label=\"Read more about ISFET (ION-SENSITIVE FIELD EFFECT TRANSISTOR)\">Read 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