การสนับสนุนโครงการจะดำเนินการโดยคณะกรรมการ จำนวน 3 ชุด
             1. คณะอนุกรรมการประเมินข้อเสนอรายโครงการ (Proposal Reviewers) ซึ่งเป็นผู้เชี่ยวชาญใน สาขาที่เกี่ยวข้องอย่างน้อยสามท่าน

             2. คณะอนุกรรมการที่ปรึกษาทางวิชาการในแต่ละสาขาเทคโนโลยี เพื่อจัดอันดับข้อเสนอ โครงการที่ส่งเข้ามา โดยพิจารณาจากความเห็น จากคณะอนุกรรมการประเมินข้อเสนอ โครงการ โดยเน้นเรื่อง

                          2.1 ความสำคัญและความน่าสนใจของโครงการ
                          2.2 ศักยภาพของผู้สมัคร
                          2.3 ความเป็นไปได้ของแผนงานวิจัย
             3. คณะกรรมการทุนวิจัยพัฒนาจากแนวคิดใหม่ เพื่อพิจารณาอนุมัติโครงการตามอันดับที่เสนอ โดยคณะกรรมการที่ปรึกษาทางวิชาการ ควบคู่ไปกับ ความเห็นของคณะอนุกรรมการประเมิน ข้อเสนอโครงการ
เกณฑ์การพิจารณา
             1. โครงการวิจัยมีวัตถุประสงค์ที่ชัดเจน มีคุณค่าทางวิชาการ องค์ความรู้ที่ได้จากงานวิจัยมีศักยภาพ ในการประยุกต์ไปสู่การพัฒนาประเทศ อย่างยั่งยืนในอนาคต
             2. แผนงานวิจัยมีความเหมาะสมและเป็นไปได้ โดยเฉพาะอย่างยิ่งควรสอดคล้องกับทั้งความเชี่ยวชาญของหัวหน้าโครงการและคณะผู้วิจัย รวมไปถึงโครงสร้างพื้นฐานที่มีอยู่
             3. ผลงานที่คาดว่าจะได้รับจากโครงการวิจัย มีคุณภาพเหมาะสมกับศักยภาพของหัวหน้าโครงการ อีกทั้งผลงานดังกล่าว ควรสนับสนุนการพัฒนา ศักยภาพของคณะผู้วิจัยควบคู่ไปด้วย
การประเมินติดตามโครงการ
          1. ผู้รับทุนต้องรายงานความก้าวหน้าการดำเนินงานโครงการวิจัยต่อ สวทช. ด้วยเอกสารทุก 6 เดือน
          2. เมื่อการดำเนินโครงการมีความก้าวหน้าพอสมควร สวทช. จะจัดให้มีการประชุมทางวิชาการเพื่อให้หัวหน้าโครงการวิจัยนำเสนอผลงาน และ/หรือ
          3. จัดการเยี่ยมชมโครงการ เพื่อรับทราบสภาพการทำงาน ปัญหาอุปสรรค เพื่อให้ข้อแนะนำ และ หามาตรการในการแก้ไขปัญหาได้ถูกต้องและทันเวลา